超低烟尘仪采用紫外差分吸收光谱技术和化学计量学算法探测下限低、温漂小；可直接测量NO和NO2得到NOx，无需NO→NO2转换器；不受颗粒物和水份等因素的干扰；无光学运动部件可靠性高，现场振动对测量无影响；采用回返光路及高品质光谱仪，低量程可做到0-20ppm，低检测下限为200ppb。
超低烟尘仪的操作步骤：
(1)仪器连接：用相应的橡胶管及信号线将组合采样管与主机、缓冲器和干燥筒连接好。
(2)滤筒的放置，将相应的滤筒装入采样管内，旋紧压盖。
(3)仪器接通电源，输入日期、时间、大气压、管道尺寸等参数。仪器计算出采样点数目和位置，将各采样点的位置在采样管上做出标记。
(4)打开烟道的采样孔，清除孔中的积灰。
(5)将组合采样管插入烟道中，测量各采样点的温度、动压、静压、全压及流速，选取合适的采样嘴。
(6)将含湿量测定装置的抽气管和信号线与主机连接，测定烟气含湿量。
(7)设定每点的采样时间，将组合采样管插入烟道中，密封采样孔。
(8)使采样嘴及皮托管全压测孔正对气流，位于第一个采样点(由内向外)。启动抽气泵，开始采样。一点采样时间结束，仪器自动发出信号，立即将采样管移至第二采样点继续进行采样。依此类推，顺序在各点采样。
(9)采样完毕后，从烟道中小心地取出采样管，再小心的取出滤筒，封存好样品。
(10)存储数据或用打印机打印采样数据。
