超低烟尘仪由发射、接收单元、烟气预处理模块组成，通过对恒温测量池内烟气的测量，间接得到烟气中粉尘浓度，烟气预处理模块由采样探头、射流泵、加热单元、压力、温度控制单元、恒温测量池等部分组成，它完成将样气从烟道中抽出，并经加热装置使烟气温度达到烟气露点温度之上，然后送入恒温测量池进行测量。
超低烟尘仪的功能特点：
1、采用紫外差分吸收光谱技术和化学计量学算法探测下限低、温漂小；
2、可直接测量NO和NO2得到NOx，无需NO→NO2转换器；
3、不受颗粒物和水份等因素的干扰；
4、无光学运动部件可靠性高，现场振动对测量无影响；
5、采用回返光路及高品质光谱仪，低量程可做到0-20ppm，低检测下限为200ppb。
超低烟尘仪的工作原理：
烟尘仪采用激光后向散射测试原理完成对被测烟道的烟尘浓度的测定。烟尘仪内嵌的高稳定激光信号源穿越烟道，照射烟尘粒子，被照射的烟尘粒子将反射激光信号，反射的信号强度与烟尘浓度成正变化。烟尘仪检测烟尘反射的微弱激光信号，通过特定的算法即可计算出烟道烟尘的浓度。
电气系统采用数字信号处理技术，分为激光发射模块、光接收模块、中央处理模块、接口模块四大部分，用先进的微处理器及嵌入式软件控制系统，实现包括光功率自适应稳定、大动态自适应锁相放大、极低零点漂移设计、抗恶劣环境等功能，提供快速、可靠和准确的定量烟尘排放数据。
